一、電容式壓力變送器和擴散硅壓力變送器原理：
1、電容式壓力變送器通過檢測中心測量膜片與兩側(cè)測量室壁之間的電容變化來判別膜片受壓位移狀況。可直接測量中心測量膜片（被測壓力直接作用處）的位移。且測量膜片可以加上巨大的預應張力，使得金屬膜片位移所導致的應力影響極小。所以精度較高。
2、擴散硅壓力變送器有兩類，其中一類是將擴散硅電橋植入到檢測中心測量膜片上來判別膜片受壓位移狀況。另一種擴散硅壓力變送器是將測量膜片感受的力傳導到一個擴散硅傳感器，通過擴散硅傳感器的輸出來得出被測壓力。由于壓力不是作用在傳感器上而是加了一次傳遞。
二、電容式壓力變送器和擴散硅壓力變送器差異：
電容式壓力變送器：
電容式變送器有一個可變電容的傳感組件，稱為“δ"室。該傳感器是一個完全封閉的組件。過程壓力、差壓通過隔離膜片和灌充液硅油傳到傳感膜片引起位移，傳感膜片和兩電容極板之間的電容差由電子部件轉(zhuǎn)換成(4～20)mA的兩線制輸出的電信號。電子放大電路由解調(diào)器、振蕩器、振蕩控制放大器、電流檢測器、電流控制放大器、電流限制控制器、基準電壓、穩(wěn)壓器等組成。
擴散硅壓力變送器：
擴散硅壓力變送器通過溫度傳感器把溫度信號變?yōu)殡娦盘?，再由前置放大器把此電信號放大濾波，送往CPU的A/D 轉(zhuǎn)換模塊進行模擬量到數(shù)字量的變換。最后由CPU進行數(shù)據(jù)處理并顯示及PWM輸出。
被測介質(zhì)的壓力直接作用于擴散硅膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微小位移，正常工作狀態(tài)下，膜片最大位移不大于0.025毫米，電子線路檢測這一位移量后，即把這一位移量轉(zhuǎn)換成對應于這一壓力的標準工業(yè)測量信號。超壓時膜片直接貼到堅固的陶瓷基體/擴散硅上，由于膜片與基體的間隙只有0.1毫米，因此過壓時膜片的最大位移只能是0.1毫米，所以從結(jié)構(gòu)上保證了膜片不會產(chǎn)生過大變形，該傳感器具有很好的穩(wěn)定性和高可靠性。
三、電容式壓力變送器和擴散硅壓力變送器：
電容變送器優(yōu)點：
1.可做到極低壓力 2.抗過載能力強 3.精度高。
擴散硅壓力變送器優(yōu)點：
1、穩(wěn)定性高-每年優(yōu)于0.1%滿量程。
2、溫度偏移小-由于取消了測量元件中的中介液，因而傳感器不僅獲得了很高的測量精度.
3、可靠性好-采用大規(guī)模IC，電路可靠性好，抗干擾性能強。
4、適用性廣-產(chǎn)品具有多種型號，多種過程連接形式，可適應工業(yè)測量中的各種介質(zhì)。
5、安裝維護簡便產(chǎn)品結(jié)構(gòu)合理，體積小,重量輕，可直接任意位置安裝。